NFPA318潔淨室消防安全規範
本規範係譯自美國防火協會(National Fire Protection Association簡稱NFPA)之國家防火規範(National Fire Code, 1995 Edition)中，編號NFPA 318之無塵室防護標準（Standard for the Protection of Cleanrooms）。該標準係由NFPA及無塵室技術委員會（Technical Committee on Cleanrooms）於1994年12月14日至16日加拿大多倫多及安德列奧之會議中所訂，並於1995 年1月13日正式對外公布，同年並取得美國國家標準協會（American National Standards Insitmate）之認可，在國際上頗具公信力。本規範共分為9章33節，其內容大致可歸納為6項重點：

1. 無塵室內之自動滅火及火警探測設備。
2. 無塵室之空調、排抗煙及廢氣排放系統。
3. 無塵室之建築結構與裝修。
4. 化學品之使用、運送與儲存。
5. 危險氣體之配送與儲存。
6. 半導體生產設備及其附屬設備之安全考量。

現僅就其防火管理上較為重要之規定編譯如下，以供參考。

	防火設備
	換氣與廢氣排放系統
	化學品之運送、使用與儲存
	危險性氣體之儲存與配送
	製造及其週邊設備
	附錄：說明事項