Silane FM 安全規範
Factory Mutual Loss Prevention Data Sheets中之安全規範，設置矽甲烷配送系統。
(一) 製程氣體配送系統之地點、建築結構及防護
| 1. |
主廠內、附加或附著建物內設有自燃、易燃、腐蝕性或毒性氣體應為Damage-Limiting Construction，DLC。 |
| 2. |
製程氣體與室外變壓器、露天堆貨等應保持適當距離，或設防火區隔，或自動滅火系統以降低延燒。 |
| 3. |
設於Cutoff Rooms 內時，應有2 hr防火牆及1.5 hr且可自動復閉之防火門，該防火門應有防爆功能。 |
| 4. |
應設Sprinkler，rated at 141℃。 |
| 5. |
Flammable gas 儲存區內之電氣設備應為防爆式。 |
| 6. |
存量應控制在最小允許量。 |
(二) Silane配送系統(如下圖)
1. 備用Silane supply應有另一獨立之控制系統。
2. Gas pad 與BIC之間至少應有2條供應管，供應管應有機械性損壞之防護。
3. 常用管線與備用管線應定期替換使用。
4. 控制盤之上游及下游應設置切換閥。
5. BIC與VMB間應有二條以上供氣管，管上應設隔離閥。
6. 對Silane配送系統之污染應制定緊急處理程序。操作人員應定期接受工安上之指導。
7. 氣瓶櫃至少應為12 gauge metal, with a self-dosing self-latching door, and a purge assembly。
8. 易燃性、自燃性之氣瓶內應有74℃rated sprinkler。
9. 氣瓶櫃內應有continuous internal ventilation。
10. 排氣速度 (at door closed) 至少應為0.51m/sec。
11. 易燃性、腐蝕性及毒性氣瓶櫃應設置氣體洩漏監控系統。
監控系統作動時，應能自動切斷氣體供應，並發生警報。
(1) 易燃性氣體及毒性氣體之自動遮斷閥應為常閉型，設於鋼瓶口，以氣動開啟。
(2) 其他氣體應儘可能將自動遮斷閥設於接近鋼瓶處。
(3) 上述自動遮斷閥應設置遙控開關，開關之位置應設於氣體供應室外之晶圓區緊急出口處。
12. 應設過流保護開關，位置應儘可能接近鋼瓶。鋼閥上應設RFO，尺寸不得超過0.25mm。但雙套管式且外層管有洩漏偵測並與遮斷閥互鎖者，得免設過流保護開關。
13. 儲櫃應標示氣體成份及其濃度，鋼瓶上應標示氣體用途如製程、purge or排氣。
14. 每一儲櫃最多不得超過兩支鋼瓶，設鋼瓶氣體性皆應相容。僅有一支鋼瓶可連結供氣至製程設備。
另一鋼瓶係供置換用且應有自動置換設備。儲櫃內亦允許有1 purge gas cylinder。
15. 氮、氬或氦等purge gas 應以鋼瓶供應，不得以儲槽供應，因為製程氣體易因事故而回流至儲槽，purge gas 與製程氣體之間不可僅設1道逆止閥。
16. 當purge pane vent lines，製程設備purge lines 或製程設備真空pump exhaust有排易燃性氣體濃度在LEL之25%以上之可能時，應設置廢氣處理系統。
17. Silant儲櫃應為鋼製，使用鋁製時，應為6061鋁合金，且兩支silane鋼瓶間應以鋼板區隔。
18. 儲櫃內之電氣設備應為Class Ⅰ, Division 2。
19. 管線接頭應儘可能減少，並儘可能使用Ａ-316L無縫不銹鋼管。鋼管應採用軌道焊接(orbital welding) 管線應標示所輸送之氣體名稱。
|
